La serie AZ está formada por hornos tubulares de 8 zonas de temperatura independientemente regulables que permiten general un gradiente de temperatura en toda la longitud de calentamiento.
Gracias al aislamiento de gran espesor y al arrollamiento completamente simétrico de las resistencias a todo lo largo del tubo, estos hornos alcanzan una uniformidad de temperatura mejor de ± 5 °C. Una ventaja clave que ofrecen las 8 zonas de temperatura independientes es la posibilidad de extender la longitud de temperatura uniforme en el horno. Además, el perfil de temperatura puede controlarse de manera precisa permitiendo programar aumentos lineales, picos u otras variantes.
Los hornos de la serie AZ son ideales para la deposición química de vapor, ya que permiten programar un gradiente de temperatura para la evaporación del material precursor en la zona de alta temperatura del horno, así como la sublimación del vapor sobre el substrato en la zona de temperatura más baja. Cada una de las zonas está controlada y monitoreada por un termopar individual.
Esquema